هنگام دستیابی به اهداف، بسیاری از مصرف کنندگان از در نظر گرفتن دیدگاه حرفه ای کوتاهی می کنند. موارد زیر ملاحظاتی را که باید قبل از خرید اهداف مورد توجه قرار گیرد، فهرست میکند.
خلوص یکی از شاخص های کلیدی عملکرد هدف برای همه فلزات است. عملکرد فیلم محصول بعدی به طور قابل توجهی تحت تأثیر خلوص هدف است. با این حال، خلوص ماده مورد نظر بسته به محصول متفاوت است.
محتوای ناخالصی هدف در رتبه دوم قرار دارد. آلایندههای جامد هدف و اکسیژن و بخار آب موجود در منافذ، دلایل اصلی آلودگی فیلم رسوبشده پس از یک سری درمانهای فرآیند هدف هستند. تقاضا برای محتوای ناخالصی متنوع اهداف برای به عنوان مثال، مشخصات خاصی برای محتوای فلز قلیایی و عنصر رادیواکتیو در اهداف آلومینیم خالص و آلیاژ آلومینیوم که اکنون در بخش نیمه هادی استفاده می شود، وجود دارد.
یکی از معیارهای اصلی عملکرد هدف، چگالی است. معمولاً برای کاهش منافذ جامد و بهبود عملکرد فیلم پراکنده شده در فرآیند فنی ماده هدف، لازم است که ماده هدف چگالی بالاتری داشته باشد. چگالی مشخصه ماده هدف بر خواص الکتریکی و نوری فیلم تأثیر میگذارد و تأثیر قابلتوجهی بر نرخ کندوپاش دارد. عملکرد فیلم با چگالی هدف افزایش مییابد.
اندازه دانه و پراکندگی اندازه دانه در آخر قرار دارند. ماده مورد نظر اغلب چند کریستالی است و دارای دانه هایی است که اندازه آنها از میکرومتر تا میلی متر متغیر است. در حالی که توزیع ضخامت لایه پراکنده شده توسط هدف با اختلاف اندازه دانه کوچکتر (توزیع یکنواخت) رسوب می شود. یکنواخت تر است، سرعت کندوپاش یک هدف با دانه های ریز بیشتر از یک هدف با دانه های درشت برای همان ماده هدف است.
