Ta Sputter هدف

1. بعد: قطر 50-400 میلی‌متر X ضخامت 3-28 میلی‌متر
2. درجه: R05200 R05400 R05252 (Ta{4}}.5W) R05255 (Ta-10W)
3. خلوص: بیشتر یا مساوی 99.95٪ (حداکثر 99.99٪)
4. تبلور مجدد: حداقل 95٪
5. اندازه دانه: حداقل 40 میلی متر
6. زبری سطح: حداکثر Ra0.4
7. صافی:0.1mm یا حداکثر 0.10%
8. تحمل: قطر +/{2}}.254mm

ارسال درخواست

معرفی محصول

یوشنگ فلز تانتالیوم کندوپاش فرآیند تولید هدف
محصولات هدف کندوپاش تانتالیوم Yusheng Metal از شمش های تانتالیوم با استفاده از فرآیندهای بمباران الکترونی EB، نورد و بازپخت پردازش می شوند. اهداف ساخته شده توسط این فرآیند دارای ساختار بلوری، بافت و توزیع انرژی یکنواخت و ساختار داخلی خوب است.

در سال های اخیر، مقیاس صنعت IC (مدار مجتمع) به گسترش خود ادامه داده است و فناوری فرآیند تراشه نیز در جهت چگالی بالا توسعه یافته است. تانتالوم به دلیل پایداری شیمیایی قوی، اغلب به عنوان ماده پوششی برای لایه مانع انتشار در فرآیند اتصال مس استفاده می شود. ریزساختار یکنواخت اهداف کندوپاش تانتالیوم تأثیر مستقیمی بر عملکرد کندوپاش دارد.

Tantalum targets require fine and uniform grains, randomly dispersed grain orientation, and excellent film manufacturing performance. However, due to the properties of tantalum, a microstructure can easily form during cold working with a core orientation of 111 (111>/ND) and a surface orientation of 100 (100>/ND). هنگام ساخت لایه های نازک، نرخ کندوپاش بسته به ضخامت هدف تغییر می کند که بر پایداری فرآیند کندوپاش تأثیر می گذارد.

اصل هدف کندوپاش

تانتالوم به دلیل توانایی آن در تشکیل اکسیدهای نازک و ماهیت محافظ لایه اکسید اغلب در تولید خازن های الکترولیتی استفاده می شود. تبخیر در مراحل اولیه رسوب تانتالیوم مورد استفاده قرار گرفت، اما از آنجایی که تکنیک‌های رسوب بخار فیزیکی مانند پوشش کندوپاش در اواخر دهه 1960 به عنوان روش‌های برتر برای رسوب لایه نازک ظاهر شد، آنها جایگزین تبخیر شدند.

در فرآیند رسوب فیزیکی بخار، اتم‌های آرگون یونیزه شده از مکانیک الکترومغناطیسی برای ضربه زدن به هدف استفاده می‌کنند و اتم‌های هدف فلزی را از بین می‌برند و اتم‌های هدف فلزی روی بستر رسوب می‌کنند تا یک لایه نازک تشکیل دهند.

هدف کندوپاش تانتالیوم

تانتالیم تارگ

تجهیزات تولید فلز یوشنگ

یوشنگ متال دارای مجموعه کاملی از تحقیقات علمی، تولید، آزمایش، فروش و سیستم های خدماتی از ذوب، آهنگری، نورد گرم، نورد سرد، تکمیل تا مواد نهایی است. دارای کوره بمباران الکترونیکی شرق 350 کیلووات، پرس هیدرولیک 2000 تن، کوره آنیلینگ خلاء 1700 میلیمتری و یک دستگاه آهنگری دقیق 42 کیلووات و 15 کیلووات وان، 14 آسیاب نوار تکمیلی، LDD120، LDD120، LDD120، LDD{7} }، LDD-8 نورد لوله دو خط، 2-آسیاب رول 500T، 4 آسیاب نورد سرد، 6 دستگاه نورد سرد، دستگاه سیم کشی دو طرفه 15 کیلووات، آسیاب استوانه ای، دستگاه لایه برداری، آسیاب سطحی و یک سری تجهیزات.

product-1477-390

product-1447-391

product-1446-408

کاربرد هدف کندوپاش تانتالیوم

ماده هدف کندوپاش تانتالیوم از ورقه های تانتالیوم پردازش شده با فشار ساخته شده است و دارای ویژگی های خلوص بالا، دانه های ریز، ساختار تبلور مجدد خوب و قوام سه محوره خوب است.
اهداف کندوپاش تانتالیوم به طور گسترده در صنایع نوری و نیمه هادی استفاده می شود. آنها عمدتا برای رسوب کندوپاش پوشش های کندوپاش کاتدی، مواد فعال با مکش با خلاء بالا، فیبرهای نوری، ویفرهای نیمه هادی، مدارهای مجتمع و غیره استفاده می شوند. آنها بخش مهمی از فناوری لایه نازک هستند.

202303061121351610a9b7fc6b401bb34eaf1612b007bd

بائوجی یوشنگ فلز فناوری شرکت ٪ 2c Ltd.تامین کننده جهانی قطعات فرآوری تانتالیوم، نیوبیم، وانادیم، زیرکونیوم و هافنیوم طلای کمیاب است. این عمدتا سیم، میله، صفحات، لوله، حلقه، بوته و غیره و سایر قطعات پردازش ویژه غیر استاندارد را تولید می کند. ما مرتباً اطلاعات مربوط به محصولات و رشته‌های مواد شرکت خود را منتشر می‌کنیم که کل زنجیره تحقیق و توسعه فناوری مواد، صنعتی‌سازی دستاوردهای مواد، کاربرد و ارتقای محصولات مادی، تراکم صنعت مواد، و بوم‌شناسی صنعت مواد را پوشش می‌دهد. می توانید در هر زمان با ما تماس بگیرید.