1. شمش وانادیوم خلوص مورد نیاز را با توجه به اندازه مورد نظر با استفاده از ماشین اره افقی برش دهید، در درجه 450-500 پیش گرم کنید، سپس فورج کنید و نرخ کل تغییر شکل آهنگری را تا 70-80% کنترل کنید.
2. شمش وانادیوم فورج شده را در دمای 400-500 درجه و زمان نگهداری 60-120 دقیقه آنیل کنید و سپس آن را با خنک کردن هوا خنک کنید.
3. شمش وانادیوم بازپخت شده را بغلتانید و مقدار فشار دادن هر پاس را تا 0 کنترل کنید.5-1 میلیمتر، و تغییر شکل کل را تا 70-80% کنترل کنید تا زمانی که هدف وانادیوم خالی شود. قطر و ضخامت مورد نیاز به دست می آید.
4. وانادیوم وانادیوم را دوباره در دمای 450-550 درجه و زمان نگهداری 90-150 دقیقه آنیل کنید. پس از بازپخت مجدد، آن را با آب سرد کنید تا وانادیوم مورد نیاز وانادیوم با خلوص بالا را به دست آورید.
بلنک هدف وانادیوم تهیه شده به این روش نه تنها ساختار داخلی یکنواختی دارد، بلکه از مزیت دانه های ریز نیز برخوردار است.
ماده مورد نظر باید دارای خلوص بالا، ناخالصی کمتر، ترکیب شیمیایی یکنواخت، بدون جداسازی، بدون منافذ، ساختار دانه یکنواخت و اندازه دانه از سطح میکرومتر تا میلی متر باشد. لازم است تفاوت اندازه دانه در یک هدف کندوپاش تا حد امکان کوچک باشد. به این ترتیب تولید پدیده تخلیه در کندوپاش مگنترون آسان نیست و فیلم کندوپاش مگنترون یکنواخت است.
کاربرد هدف وانادیوم
در زمینه های انرژی خورشیدی، نمایشگرهای صفحه تخت، الکترونیک و نیمه هادی ها مانند مدارهای مجتمع، متالیزاسیون صفحه پشتی، اپتوالکترونیک و سایر کاربردها استفاده می شود.
